INFLUENCE DE QUELQUES PARAMETRES DE DEPOT SUR LE NIVEAU DE CONTRAINTES RESIDUELLES DANS LES COUCHES MINCES DE CHROME OBTENUES PAR PVD

Authors

  • y BENLATRECHE Université Constantine 1
  • L CHEKOUR Université Constantine 1
  • l RAHIL Université Constantine 1
  • A DJARRI Université Constantine 1

Keywords:

Chrome, PVD, épaisseur, contraintes résiduelles, anneaux de Newton

Abstract

Cette étude porte sur des dépôts de couches minces dures de chrome élaborées par pulvérisation cathodique (PVD) et leur caractérisation. Des films de chrome ont été préparés par pulvérisation RF. L’influence de l’épaisseur des films, de la puissance appliquée à la cible sur les contraintes résiduelles a été étudiée. L’analyse des contraintes
résiduelles par le dispositif des anneaux de Newton, pour différentes épaisseurs, montre l’existence d’un pic de contraintes entre 170 et 200 nm et ce pour une puissance de l’ordre de 200 W. Ce qui vérifie d’une part les résultats obtenus lors de précédentes études sur CrN, BN, AlN ou ZrBN et d’autre part, le modèle de croissance proposé par Nouveau et all.
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Author Biographies

y BENLATRECHE, Université Constantine 1

Laboratoire des Couches Minces et Interfaces 

L CHEKOUR, Université Constantine 1

Laboratoire des Couches Minces et Interfaces

l RAHIL, Université Constantine 1

Laboratoire des Couches Minces et Interfaces

A DJARRI, Université Constantine 1

Laboratoire céramique

References

Nouveau C., « Etude de revêtements durs (CrxNy) obtenus par méthodes PVD : réalisation et caractérisations, applications à l'usinage du bois », Thèse de doctorat n°21-2001, CER ENSAM Cluny, France

Maissel LI, Glang R, “Handbook of Thin Film Technology”, Mac Graw Hill, 1970

Stoney G, R. Proc. Soc. A82, p 172, 1909 96

Endler I, Bartsch K, Leonhardt A, Scheibeh HJ, Ziegele H, Raatz I, Diamond Relat. Mater., 8, p 834-839, 1999

Su YL, Yao SH, Leu ZL, Wie CS, Wu. C. T, Wear, 213, p 165-174, 1997

Nouveau C, Djouadi MA, Marchal R, Lambertin M, Decès-Petit C, Ko PL, Ceramics, 61, p 131-144, 2000

Nordin M, Larsson M, Hogmark S, Wear, 232, p 221-225, 1999

Rickerby DS, Jones AM, Bellamy BA, Surf. Coat. Technol., 37, p 111-137, 1989

Rickerby DS, J. Vac. Sci. Technol., A4, p 2809-2814, 1986

Bull SJ, Wear, 233-235, p 412-423, 1999

Su YL, Yao SH, Wear, 205, p 112-119, 1997

Nouveau C, Djouadi MA, Banakh O, Sanjinès R, Lévy F, Thin Solid Films, 398-399, p 490-495, 2001

Chekour L, Nouveau C, Chala A, Labidi C, Rouag N, Djouadi MA, Surf. Coat. Technol., 200(1-4), p 241-244, 2005

Djouadi MA, Nouveau C, Banakh O, Sanjinès R, Lévy F, Nouet G, Surf. Coat. Technol., 151-152, p 510-514, 2002

Meng WJ, Sell JA, Perry TA, Rehn LE, Baldo PM, J. Appl, Phys., 75(7), p 3446-3455, 1994

McKenzie DR, Mcfall WD, Sainty WG, Davis CA, Collins RE, Diamond Relat. Mater., 2, p 970, 1993

Quaeyhaegens C, Knyt G, D’Haen J, Stals LM, Thin Solid Films, 258, p 170-173, 1995

Chekour L, Thèse de Doctorat, Université Mentouri de Constantine, 2004

Holleck H, J. Vac. Sci. Technol., A4, p 2661, 1986

Panjan P, Navinsek B, Cvelbar A, Milosev I, Thin Solid Films, 282, p 298, 1996

Meng WJ, Sell JA, Perry TA, J. Appl. Phys., 74(4), p 2411-2414, 1993

Aida MS, Boudjaadar S, Chari A, Mahdjoubi L, Thin Solid Films, 200, p 209, 1991

Aida MS, Mahdjoubi L, Sahli S, Mater Chem. Phys., 32, p 349, 1992

Muller KH, Applied Physics, A40, p 209-213, 1986 [25] Constable CP, Lewis DB, Yarwood J, Munz WD, Surf. Coat. Technol., 184, p 291-297, 2004

Oden M, Ericsson C, Hakansson G, Ljungcrantz H, Surf. Coat. Technol., 114, p 39-51, 1999

Oden M, Almer J, Hakansson G, Olsson M, Thin Solid Films, 377-378, p 407-412, 200

Published

2007-12-01

How to Cite

BENLATRECHE, y, CHEKOUR, L., RAHIL, l, & DJARRI, A. (2007). INFLUENCE DE QUELQUES PARAMETRES DE DEPOT SUR LE NIVEAU DE CONTRAINTES RESIDUELLES DANS LES COUCHES MINCES DE CHROME OBTENUES PAR PVD. Sciences & Technology. A, Exactes Sciences, (26), 91–96. Retrieved from https://revue.umc.edu.dz/a/article/view/170

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