CONTRIBUTION A L’ETUDE DES PROPRIETES OPTIQUES DES COUCHES MINCES DE SILICIUM AMORPHE HYDROGENE

K MELLASSI, M CHAFIK EL IDRISSI, A CHOUIYAKH, A RJEB, A BARHDADI

Résumé


Le présent travail est essentiellement consacré à l'étude de quelques propriétés optiques de couches minces de silicium amorphe hydrogéné (a-Si:H) préparées par la technique de pulvérisation cathodique radiofréquence. Il s'agit précisément d'examiner séparément l'influence de la pression partielle d'hydrogène lors du dépôt et l'effet d'un recuit thermique classique post-dépôt sur les principales grandeurs optiques des couches telles que l'indice de réfraction, le gap optique et l'énergie d'Urbach. On montre que les faibles pressions d'hydrogène permettent une saturation des liaisons pendantes dans le matériau, alors que les fortes doses conduisent à la création de nouveaux défauts. On montre aussi qu'un recuit thermique à température moyenne permet une nette amélioration de la qualité structurale des couches déposées.


Mots-clés


Silicium ; Couches Minces ; Hydrogène ; Recuit Thermique ; Propriétés Optiques

Texte intégral :

PDF

Références


- Hamakawa Y., Solar Energy Materials, 8, (1982), p. 110.

- Nakarro S. and Kawana Y., Appl. Phys., 41, (1986), p. 268.

- Hamakawa Y., ICTP H4 SMR 215 (1987).

- Powell M.J., IEEE Trans. Electron Devices, 36, (1989), p. 2753.

- Wang C. and Lucovsky G., Proc. 21st IEEE PVSC, IEEE New York (1990).

- Brotherton S.D., Mc Callseh D.J. Claqq J.B. and Gowers J.P., IEEE Trans. Electron Devices, 40, (1993), p. 40.

- Wehrspohn R.B., Deane S.C., French I.D., Gale I., Hewett J., Powell M.J. and Robertson J., Journal of Applied Physics, 87, n°1, (2000), p. 144.

- Loferski J., J. Appl. Phys, 27, (1956), p. 777.

- Bennouna A., Haouni A., Ghermani N. and Ameziane E.L., Sol. Energy. Mater, (1991), p. 83.

- Benmoussa M., Thèse de Doctorat de 3ème cycle, Université Cadi Ayyad, Faculté des Sciences Semlalia, Marrakech, 1994, Maroc.

- Cody G.D., Wronski C.R., Abeles B., Stephens R.B. and Brooks B., Solar Cells, 2, (1980), p. 227.

- Benmoussa M., Ibnouelghazi E., Bennouna A. and Ameziane E.L., Thin Solid Films, 265, (1995), pp. 22-28.

- Laaziz Y. and Bennouna A., Thin Solid Films, 277, (1996), pp. 155-161.

- Zellama K., Von Bardeleben J.H., Quillet V., Bouizem V., Sladek P., Theye M.L. and Roca I Cabarrocas P., J. Non-Cryst. Solids, 164-166, (1993), p. 285.

- Laaziz Y., Bennouna A. and Ameziane E.L., Solar Energy Materials and Solar Cells, 31, (1993), p. 23.

- Chahed L., Theye M.L. and Bourdon B., J. Physique, 44, (1983), p. 387.

- Guha S., Second worshop of science and technology of thin films, Trieste, Italy (1996).

- Bennouna A., Laaziz Y. and Idrissi M.A., Thin Solid Films, 213, (1992), p. 55.

- Urbach F., Phys. Rev. B, 92, (1953), p. 1324.

- Jousse D., Thèse de Doctorat d'Etat, Université Scientifique et Médicale de Grenoble, 1983, France.

- Anthony T.C., Fahrembruch A.L. and Bube R.H., J. Cryst. Growth, 59, (1982), p. 289.

- Swanpoel R. and Swart P.L., Thin Solid Films, 128, (1985), p. 191.

- Beldi N. and al, J. Non. Cryst. Solids, 164-166, (1993), pp. 309-312.

- Taylor P.C., Vanderheiden E.D. and Ohlsen W.D., Proceedings of the International Workshop on amorphous semiconductors held in Beijing, China 13-18 October (1986).

- Tauc J., Grigorovici R. and Vancu A., Phys. Stat. Solidi, 15, (1966), p. 627.

- Gorrido Alzarcl, Mat. Sc. Eng. B65, n°2, (1999), p. 123.

- Berger J.M., Thèse de Doctorat d'Etat, Montpellier, 1985, France.

- Cody G.D., Tiedje T., Abeles B., Brooks B. and Goldstein, Phys. Rev. Letters, 47, n°20, (1981), p. 1480.

- Palik E.D., Handbook of optical constant of solids, Academic Press Inc., Orlando, USA, 1985.

- Aka B., Thèse de Doctorat de l'Université Louis Pasteur de Strasbourg I, 1989, France.

- Barhdadi A., Thèse de Doctorat de l'Université Louis Pasteur de Strasbourg I, 1985, France.

- Pangal K., Strum J-C. and Wagner S., Appl. Phys. Lett., 75, n°14, (1999), p. 2091.

- Yamaguchi M. and Morigaki K., Journal of Non-Crystalline Solids, 137, (1991), p. 57.

- Mahan A.H., Yang J., Guha S. and Williamson D.L., Phys. Rev. B, 61, n°3, (2000), p. 1677.

- Barhdadi A., Amzil H., M'gafad N., Biaz T., Eichhammer W., Muller J.-C. and Siffert P., Journal of Alloys and Compounds, 188, (1992), p. 221.


Renvois

  • Il n'y a présentement aucun renvoi.




 

Direction des Publications et de l'animation scientifique

Université des Frères Mentouri Constantine 1. Route Ain El-Bey. 25000. Algérie.