CONTRIBUTION A L’ETUDE DES PROPRIETES OPTIQUES DES COUCHES MINCES DE SILICIUM AMORPHE HYDROGENE

Authors

  • K MELLASSI Université Ibn Tofail, Kénitra
  • M CHAFIK EL IDRISSI Université Ibn Tofail, Kénitra
  • A CHOUIYAKH Université Ibn Tofail, Kénitra
  • A RJEB Université Ibn Tofail, Kénitra
  • A BARHDADI Ecole Normale Supérieure de Rabat, Rabat

Keywords:

Silicium, Couches Minces, Hydrogène, Recuit Thermique, Propriétés Optiques

Abstract

Le présent travail est essentiellement consacré à l'étude de quelques propriétés optiques de couches minces de silicium amorphe hydrogéné (a-Si:H) préparées par la technique de pulvérisation cathodique radiofréquence. Il s'agit précisément d'examiner séparément l'influence de la pression partielle d'hydrogène lors du dépôt et l'effet d'un recuit thermique classique post-dépôt sur les principales grandeurs optiques des couches telles que l'indice de réfraction, le gap optique et l'énergie d'Urbach. On montre que les faibles pressions d'hydrogène permettent une saturation des liaisons pendantes dans le matériau, alors que les fortes doses conduisent à la création de nouveaux défauts. On montre aussi qu'un recuit thermique à température moyenne permet une nette amélioration de la qualité structurale des couches déposées.

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Author Biographies

K MELLASSI, Université Ibn Tofail, Kénitra

Laboratoire de Physique des Surfaces et Interfaces (L.P.S.I.)
Faculté des Sciences

M CHAFIK EL IDRISSI, Université Ibn Tofail, Kénitra

Laboratoire de Physique des Surfaces et Interfaces (L.P.S.I.)
Faculté des Sciences

A CHOUIYAKH, Université Ibn Tofail, Kénitra

Laboratoire de Physique des Surfaces et Interfaces (L.P.S.I.)
Faculté des Sciences

A RJEB, Université Ibn Tofail, Kénitra

Laboratoire de Physique des Surfaces et Interfaces (L.P.S.I.)
Faculté des Sciences

A BARHDADI, Ecole Normale Supérieure de Rabat, Rabat

Laboratoire de Physique des Semiconducteurs et de l’Energie Solaire (P.S.E.S.)

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Published

2001-06-01

How to Cite

MELLASSI, K., EL IDRISSI, M. C., CHOUIYAKH, A., RJEB, A., & BARHDADI, A. (2001). CONTRIBUTION A L’ETUDE DES PROPRIETES OPTIQUES DES COUCHES MINCES DE SILICIUM AMORPHE HYDROGENE. Sciences & Technology. A, Exactes Sciences, (15), 41–46. Retrieved from https://revue.umc.edu.dz/a/article/view/1740

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