INFLUENCE DE QUELQUES PARAMETRES DE DEPOT SUR LE NIVEAU DE CONTRAINTES RESIDUELLES DANS LES COUCHES MINCES DE CHROME OBTENUES PAR PVD
Keywords:
Chrome, PVD, épaisseur, contraintes résiduelles, anneaux de NewtonAbstract
Cette étude porte sur des dépôts de couches minces dures de chrome élaborées par pulvérisation cathodique (PVD) et leur caractérisation. Des films de chrome ont été préparés par pulvérisation RF. L’influence de l’épaisseur des films, de la puissance appliquée à la cible sur les contraintes résiduelles a été étudiée. L’analyse des contraintes
résiduelles par le dispositif des anneaux de Newton, pour différentes épaisseurs, montre l’existence d’un pic de contraintes entre 170 et 200 nm et ce pour une puissance de l’ordre de 200 W. Ce qui vérifie d’une part les résultats obtenus lors de précédentes études sur CrN, BN, AlN ou ZrBN et d’autre part, le modèle de croissance proposé par Nouveau et all.
[1]
Downloads
References
Nouveau C., « Etude de revêtements durs (CrxNy) obtenus par méthodes PVD : réalisation et caractérisations, applications à l'usinage du bois », Thèse de doctorat n°21-2001, CER ENSAM Cluny, France
Maissel LI, Glang R, “Handbook of Thin Film Technology”, Mac Graw Hill, 1970
Stoney G, R. Proc. Soc. A82, p 172, 1909 96
Endler I, Bartsch K, Leonhardt A, Scheibeh HJ, Ziegele H, Raatz I, Diamond Relat. Mater., 8, p 834-839, 1999
Su YL, Yao SH, Leu ZL, Wie CS, Wu. C. T, Wear, 213, p 165-174, 1997
Nouveau C, Djouadi MA, Marchal R, Lambertin M, Decès-Petit C, Ko PL, Ceramics, 61, p 131-144, 2000
Nordin M, Larsson M, Hogmark S, Wear, 232, p 221-225, 1999
Rickerby DS, Jones AM, Bellamy BA, Surf. Coat. Technol., 37, p 111-137, 1989
Rickerby DS, J. Vac. Sci. Technol., A4, p 2809-2814, 1986
Bull SJ, Wear, 233-235, p 412-423, 1999
Su YL, Yao SH, Wear, 205, p 112-119, 1997
Nouveau C, Djouadi MA, Banakh O, Sanjinès R, Lévy F, Thin Solid Films, 398-399, p 490-495, 2001
Chekour L, Nouveau C, Chala A, Labidi C, Rouag N, Djouadi MA, Surf. Coat. Technol., 200(1-4), p 241-244, 2005
Djouadi MA, Nouveau C, Banakh O, Sanjinès R, Lévy F, Nouet G, Surf. Coat. Technol., 151-152, p 510-514, 2002
Meng WJ, Sell JA, Perry TA, Rehn LE, Baldo PM, J. Appl, Phys., 75(7), p 3446-3455, 1994
McKenzie DR, Mcfall WD, Sainty WG, Davis CA, Collins RE, Diamond Relat. Mater., 2, p 970, 1993
Quaeyhaegens C, Knyt G, D’Haen J, Stals LM, Thin Solid Films, 258, p 170-173, 1995
Chekour L, Thèse de Doctorat, Université Mentouri de Constantine, 2004
Holleck H, J. Vac. Sci. Technol., A4, p 2661, 1986
Panjan P, Navinsek B, Cvelbar A, Milosev I, Thin Solid Films, 282, p 298, 1996
Meng WJ, Sell JA, Perry TA, J. Appl. Phys., 74(4), p 2411-2414, 1993
Aida MS, Boudjaadar S, Chari A, Mahdjoubi L, Thin Solid Films, 200, p 209, 1991
Aida MS, Mahdjoubi L, Sahli S, Mater Chem. Phys., 32, p 349, 1992
Muller KH, Applied Physics, A40, p 209-213, 1986 [25] Constable CP, Lewis DB, Yarwood J, Munz WD, Surf. Coat. Technol., 184, p 291-297, 2004
Oden M, Ericsson C, Hakansson G, Ljungcrantz H, Surf. Coat. Technol., 114, p 39-51, 1999
Oden M, Almer J, Hakansson G, Olsson M, Thin Solid Films, 377-378, p 407-412, 200
