STABILITE THERMIQUE DE FILMS MINCES DE NITRURE DE CHROME (Cr-N)
Keywords:
Films minces, CrN, Pulvérisation magnétron, MEB, EDXAbstract
Cette étude porte sur la stabilité thermique de couches minces dures de nitrure de chrome Cr-N, élaborées par dépôt physique en phase vapeur PVD (Physical Vapour deposition).Nous avons suivi l’influence de la température de recuit sur la morphologie de films CrN, déposés sur des substrats de silicium par pulvérisation magnétron. Nous avons procédé à des caractérisations en microscopie électronique à balayage (MEB) équipé en microanalyse X (EDX). Des recuits sous azote d’une heure, entre 600°C et 1000°C, effectués sur des revêtements CrN d’épaisseur 530 nm, ont montré la stabilité thermique de ces revêtements aux basses températures. A partir de 1000°C la phase CrN cède complètement la place à la phase Cr2O3. Les résultats obtenus en MEB et EDX sont comparés à ceux obtenus par DRX.
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References
Zhao Z. B., Rek Z. U., Yallisove S. M., Bilello J. C., Thin Solid Films xx, xxx-xxx, (2004).
Balzers B., site web www.balinit.balzers.com, 21 mars (2001).
Almer J., Oden M., Hultman L., Hâkansson G., Journal of Vacuum Science and Technology A 18, 121, (2000).
Huber E., Hofmann S., Surf. Coat. Technol. 68 – 69, 64 – 69, (1994).
Panjan P., NavinŠek B., Cvelbar A., Zalar A., MiloŠev I., Surf. Coat. Technol. 281 – 282, 298 – 301, (1996).
Lu F. –H., Chen H. –Y., Thin Solid Films 398-399, 368-373, (2001).
Hsieh W. P., Wang C. C., Lin C. H., Shieu F. S., J. Electrochem. Soc. 149, 234 – 238, (2002).
Chang K.-L., Chung S.-C., Lai S.-H., Shih H.-C., Applied Surface Science 236, 406-415, (2004).
MiloŠev I., Strehblow H.-H., NavinŠek B., Thin Solid Films 303, 246 – 254, (1997).
Mammeri F.-Z., Chekour L., Rouag N., Conférence Internationale sur la Métallurgie & l’Environnement cime_07, Annaba 23 - 25 Avril 2007.
Ichumira H., Kawana A., Central Research Laboratory, Sumitomo Metal Mining Co., Ltd., 18-5, 3 Chome, Nakakokubun Ichikawa-shi, Chiba, 272 Japon, (1993).
Belatrache Y., Thèse de Magister, Université Mentouri Constantine, (2006).
C. Nouveau, Y. Benlatreche, L. Chekour, C. Labidi, ” Etude de la stabilité thermique et de l’influence de l’épaisseur sur les contraintes de couches de Cr et CrN obtenues par pulvérisation cathodique » MATERIAUX
13-17 Novembre 2006 – Dijon, France.
