(RF) ‏بطريقة الرش المهــبطي: تأثير الاستطاعة a-SiN الخصائص الكهربائية لرقائق نيتريد السيليسيوم اللامتبلور. S&TA [Internet]. 2001 Jun. 1 [cited 2025 Sep. 14];(15):5-8. Available from: https://revue.umc.edu.dz/a/article/view/1756