PROPRIETES ELECTRIQUES DES COUCHES MINCES D’OXYDE DE ZINC
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Couches Minces، Oxyde de zinc، Dépôts Chimique en Phase Vapeur، Mobilité de Hallالملخص
Nous avons étudié l’influence des conditions de dépôt de couches minces d’oxyde de zinc (ZnO) sur les propriétés électroniques. Ces couches sont déposées par la technique de transport en phase gazeuse sur des substrats en saphir (Al2O3) d’orientations ,et .
Les mesures électriques d’effet Hall, à 300K, montrent que la concentration et la mobilité des électrons sont comprises entre 21016 – 8.41018 cm-3 et 140 – 160 cm2V-1s-1, respectivement.
Les résultats des mesures de la mobilité des électrons en fonction de le température montrent que différents mécanismes limitent la mobilité des électrons dans les films de ZnO.التنزيلات
المراجع
- Srikant V. and Clarke D.R., J. Appl. Phys., Vol.83, N.10, (1998), p. 5447.
- Phillips J. C., "Bonds and bands in semiconductors", Academic Press (New York), (1973), p.42.
- Kittel C., "Physique de l’état solide", Dunod, Paris, (1998), p. 71.
- Blakemore J.S., "Solid State Physics", Cambridge University Press, (1985), p. 423.
- Hagemark K.J. and Chaacka L.C., J. Solid state chem., Vol.15, (1975), p. 261.
- Hutson A.R., Phys. Rev., Vol. 108, N.2, (1957), p.222.
- Gil J.M., Alberto H.V., Viläo R.C., Piroto Duarte J., Mendes P.J., Foreira L.P., Ayres de Campos N., Weidinger A., Krause J. Niedermayer Ch., and Cox S.F.J., Phys. Rev. Lett., Vol. 83, (1999), p. 5294.
- Sarikant V., Sergo V., and Clarke D.R., J. Am. Ceram. Soc., Vol.78, (1995), p. 193.
- Igasaki Y., and Saito H., J. Appl. Phys., Vol.69, (1991), p. 2190.
- Shimizu M., Katayama T., Tanaka Y., Shiosaki T., and Kawabata A., J. Cryst. Growth., Vol.101, (1990), p. 171.
- Look D.C., Reynolds D.C., Sizelove J.R., Jones R.L., Litton C.W., Cantwell G., and Harsch W.C., Solid State Commun., Vol.105, (1998), p. 399.
- Ataev B.M., Bagamedova A.M., Djabrailov A.M., Mamedov V.V. and Rabadanov R.A., Thin solid films, Vol. 260, (1995), p.19.
- Isenberg I., Russel B.R., Greene R.F., Rev. Sci. Instr., Vol.19, N°10, (1948), p. 685.
- Allgaier R.S., Phys. Rev. B, Vol. 2, N° 10, (1970), p. 3869.
- Zhang S.B., Wei S.–H., and Zunger A., Phys. Rev. B, Vol.63, (2001), p. 75305.
- Vanheusden K., Seager C.H., Warren W.L., Tallant D.R., and Voigt J.A., Appl. Phys. Lett., Vol 68, (1996), p.403.
- Ghiotti G., Chiorino A., Boccuzzi F., Surf. Sci., 287/288 (1993), p.228.
