TRAITEMENT NUMERIQUE DES MESURES PAR SONDE IONIQUE. APPLICATION AUX SILICIURES
Mots-clés :
SIMS, Spectres de masse, Abondances, Quantification, RSF, TiSiRésumé
L’objectif de ce travail est le traitement numérique des mesures par sonde ionique de la structure Ti/Si. Ce traitement comporte deux applications principales dont la première est la simulation des spectres de masse à partir du calcul des abondances des différentes combinaisons isotopiques des éléments de la structure. La deuxième application est la quantification des résultats bruts. Cette quantification repose sur l’utilisation du facteur de la sensibilité relatif (RSF) pour la conversion de l’intensité ionique en concentration. L’échelle des profondeurs est étalonnée à partir de la détermination des vitesses d’érosion dans les différentes couches. Les résultats de ce traitement numérique nous rapproche d’une vision quantitative tout à fait cohérente.Références
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