DESIGN ET SIMULATION D’UN NOUVEAU CAPTEUR DE GAZ A OXYDE METALLIQUE.
Mots-clés :
Capteur de gaz, Basse puissance, Oxyde métallique à semi-conducteur, Simulation électrothermiqueRésumé
Nos travaux portent sur la conception et l’évaluation rigoureuse d’une nouvelle conception de capteur de gaz semi-conducteur à oxyde métallique (SMO) avec des différentes formes et tailles, afin d’évaluer la géométrie d’implantation la plus efficace en termes de consommation électrique, la stabilité de la membrane et la distribution de la température.
La conception met en œuvre des aspects innovants, permettant une amélioration de la sélectivité et de la consommation d’énergie des capteurs de gaz, ce qui rend le produit adapté à une grande variété d’applications. Pour soutenir d’avantage les résultats de la simulation, on démarre l’étude avec une validation de notre modèle à partir d’une étude comparative de plusieurs types de géométries de l’élément chauffant (spirale, méandre et anneau) sous environnement Comsol.
Le but de cette étude est de fournir un modèle amélioré, avec une température plus uniforme au niveau de la zone active (réponse avec le moins de bruit possible), ainsi qu’une réduction de cout du capteur (puissance consommée et dimensions de la puce réduite, minimiser les étapes de gravure en embarquent l’élément chauffant et les électrodes dans la même couche au-dessus de la membrane).
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