ELABORATION PAR RF MAGNETRON ET CARACTERISATIONS DES REVETEMENTS DURS Mo-Cr-N
Keywords:
Mo-Cr-N, pulvérisation, magnétronAbstract
Des couches ternaires de Mo-Cr-N ont été élaborées par PVD magnétron. L’analyse EDS des films Mo-Cr révèle l’existence du chrome et du molybdène. Ceci est en accord avec la composition de la cible (Cr 20% at. Mo 80 % at). L’épaisseur des films Mo-Cr-N augmente avec le temps de dépôt. Leur cristallinité se trouve améliorée. La présence de l’azote diminue l’épaisseur des films et augmente la largeur des colonnes. On note que la taille des grains augmente avec la température du recuit. Par contre la distance interréticulaire diminue. Au MEB, il a été montré que la structure des films Mo-Cr-N est en « têtes de chou-fleur ». Chaque « tête de chou-fleur » est elle-même constituée de nodules qui terminent des colonnes plus fines. L’effet d’ombrage, et la relaxation des contraintes peuvent être à l’origine de l’existence de la discontinuité de la matière observée. Les recuits à différentes températures augmentent la cristallinité des films. La diffraction des RX n’a pas révélé de présence de phases d’oxydes. Ce qui indique une bonne stabilité thermique des films élaborés. Mais l’apparition progressive, en fonction de la température de recuit, des fissures montre une mauvaise adhérence des ces films sur le substrat de silicium.
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References
M. Van Stappen, M. Kerkhofs, L.M. Stals, C. Quaeyhaegens, Surf. Coat. Technol. 74-75 (1995) 629-633.
Corinne Nouveau, Thèse de doctorat N°-21 Ecole Nationale Supérieur d’Art et Métiers, 2001
A. Chala, L. Chekour, C. Nouveau, C. Saied, M.S. Aida and M.A. Djouadi
”Study of the duplex treatment on 32CrMoV13 low alloy steel: Application in wood machining”, Surface and Coatings Technology, 22 March 2000.
M. Uchida, N. Nihira , A. Mitsuo, K. Toyoda K. Kubota , T. Aizawa : Friction and wear properties. of CrAlN and CrVN films deposited by cathodic arc ion plating method . Surface and Coatings Technology 177 –178 (2004)
In-Wook Park a, Dong Shik Kang b, John J. Moore a, Sik Chol Kwon c, Jong Joo Rha, Kwang Ho Kim: Microstructures, mechanical properties, and tribological behaviors of Cr–Al–N, Cr–Si–N, and Cr–Al–Si–N coatings Surface & Coatings Technology (2006).
P. Hones, R. Sanjinés, and F.Lévy: electronic, structure and mechanical properties of resistant coatings: the chromium molybdenium nitride systeme, American vacuum society 1999.
Eun Young Choi, Myung Chang Kang et al: Comparative studies on microstructure and mechanical properties of CrN, CrCN and CrMoN coatings, Elsevier Edition 2007.
P. Hones: Structural and Electronic properties of Transition Metal Nitrides with Emphasis on Chromium Nitride Based Thin Films. Ecole polytechnique fédérale de Lausanne, 2000.
L. Chekour, C. Nouveau, A. Chala, C. Labidi, N. Rouag and M.A. Djouadi “Growth mechanism for chromium nitride films deposited by magnetron and triode sputtering methods" Surface and Coatings Technology, In Press, Corrected Proof, Available online 8 April 2005.
