ETUDE DES OXYDES ANODIQUES OBTENUS SUR InP PAR CORRELATION DE SPECTRES XPS ET ELLIPSOMETRIQUES
الكلمات المفتاحية:
InP، oxyde anodique، ellipsométrie، XPSالملخص
La caractérisation des propriétés physico-chimiques de la surface du phosphure d’indium (InP) par spectroscopie de photoélectron (XPS) combinée à l’ellipsométrie spectroscopique présente des avantages appréciables.
L’oxyde anodique inhomogène (de structure complexe) obtenu sur InP constitue un exemple d’étude très intéressant qui met en évidence les possibilités qu’offrent ces deux méthodes. Si l’ellipsométrie spectroscopique (méthode non destructive) est un moyen de caractérisation très puissant, l’exploitation des spectres mesurés nécessite l’utilisation de modèles bien adaptés pour extraire l’information. Ce travail a permis d’étudier la nature complexe de l’oxyde électrochimique obtenu sur InP. Les résultats obtenus permettront une meilleure compréhension du comportement des composants électroniques à base de phosphure d’indium.التنزيلات
المراجع
- Rosencher E.et Vinter B., "Optoélectronique", éditions Masson (1998).
- Kikuchi D.and Adachi S., Mater. Sci. Eng.B, Solid. Stat. Mater. Adv. Technol. Vol 2, (2000), pp.133-138.
- Yang B.X., Ishikawa Y., Oseki T. and Hasegawa H., Jpn..J..Appl..Phys.,Vol.35, (1996), pp.1267-1272.
- Besland M.P., Louis P., Robach Y., Joseph J., Hollinger G., Gallet D.and Viktorovitch P., Appl. Surf. Sci., 56-58, (1992), pp.846-854.
- Shibata N.and Ikoma H., Jpn. J. Appl. Phys., Vol. 31, (1992), pp.3976-3980.
- Kikuchi D., Matsui Y.and Adachi S., J. Electrochem. Soc., 147, (2000) pp.1973-1978.
- Robach Y., Gagnaire A., Joseph J., Bergignat E.and Hollinger G., Thin solid films, 162, (1988), pp.81-88.
- Hasegawa H.and Hartnagel H.R., J. Electrochem. Soc., Vol. 123(5), (1976), pp.713-423.
- Zhao J., Green M.A., IEEE Trans. Elect. Dev., Vol. 38(8), (1991), pp.1925-1931.
- Callard A.S., Gagnaire A. and Joseph J., J. Vac. Sci. Technol. A, 15(4), (1997), pp.2088-2094.
- Robach Y., Thèse d’état Lyon, n°02/89, (1989).
- Sumathi R.R., Dharmarasu N., Arulkumaran S., Jayavel P. and Kumar J., J. Electron. Mater., Vol. 27(12), (1998), pp.1358-1361.
