ETUDE D’UN PLASMA HAUTE PRESSION POUR LASER A EXCIMERE
الكلمات المفتاحية:
Laser à excimère، XeCl، Modélisation numérique، Plasmas froids، Instabilitéالملخص
Le présent travail est une modélisation numérique d’une décharge électrique haute pression pour laser à excimère. Il est basé sur un modèle dans lequel nous faisons un couplage entre le plasma, la cinétique des espèces lourdes et le circuit extérieur. Dans ce modèle, le plasma est représenté par une résistance de valeur inversement proportionnelle à la densité électronique. Les résultats illustrent le rôle important de la concentration de l’halogène HCl dans le mélange gazeux, dans l’évolution des caractéristiques électrique et cinétique du plasma. On montre aussi l’évolution d’une instabilité en volume de la densité de préionisation et l’effet de la déplétion d’halogène HCl sur le développement de cette instabilité.التنزيلات
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